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制作铬设备

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光刻掩膜版设计与加工指南 USTC

2017年6月12日  制版工艺简介 目我中心可提供2.5英寸和5英寸两种规格的掩膜版加工。 制版设备为无掩模光刻机(Maskless lithography,ATD1500),这是一种基于空间光调

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掩膜光刻机原理及掩膜版制作工艺 知乎光刻版/掩模版设计与加工 migelab根据热度为您推荐•反馈

一种卧式电镀硬铬设备的专用旋转头的制作方法 X技术网

2021年5月25日  一种卧式电镀硬铬设备的专用旋转头的制作方法 文档序号: 发布日期:2021-05-25 12:48 来源:国知局 导航: X技术> 最新专利>电解或电泳工艺的制

《光罩版制作工艺简介》.ppt-原创力文档

2020年10月24日  铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约700A的铬层,铬的下方还有一层由铬的氮化物或氧化物形成的薄膜其作用是增加铬与玻璃的粘附力。 选择铬

苏州含光微纳科技有限公司

2020年7月15日  工艺能力. 含光微纳提供全系列石英、苏打玻璃铬掩膜版,制版最小线宽 1.5um,精度 0.2um,适配4、6英寸光刻等多种尺寸,满足从高精尖科学研究到大规模

一种电解铬片剥离设备的制作方法 X技术网

2022年3月16日  1.本实用新型涉及一种剥离设备,更具体的说,本实用新型涉及一种电解铬片剥离设备。 背景技术: 2.电解铬是指火法冶金炼制的粗铬金属作为阳极进行电解,通

掩膜版行业发展情况 知乎

2022年2月19日  一、掩膜版情况. 掩膜版(Photomask) 又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等,是微电子制造过程中的图形转移工具或母版,是承载图形设计和工艺技术等

一种制备铬版掩膜版的方法与流程 X技术网

2017年5月27日  现有铬版掩膜版制备的主要工艺过程为:在石英或玻璃等透明基材上利用真空加热蒸发或者溅射淀积形成铬薄膜层,在其上涂覆光致抗蚀剂,利用激光或者电子束

制作铬设备,小型捞沙机设备-黎明重工制砂专题网站

2017年9月13日  新的止推轴通常由于其生产工艺等原因,都不能达到设备运行的理想效果,因此在安装之往往需要对其进行研刮处理,从而使其性能更加优良球磨机橡胶衬板

镀铬自动添加铬酐方法及设备的制作方法 X技术网

2009年10月28日  本发明镀铬自动添加铬酐方法及设备的优点是铬酐到设定时间后自动 定量添加,不会产生污染和腐蚀现象,使用安全、环保卫生,工作效率高, 降低操作人员劳

光掩膜版(铬版)

在平整的玻璃板上镀上金属铬薄膜,通过类似照相制版的方法制备,其制作过程就是典型的光刻工艺过程,包括金属PVD沉积、涂胶、电子束光刻、显影、铬层腐蚀及去胶等过程。 铬版主要应用于: TFT-LCD、CF

一种卧式电镀硬铬设备的专用旋转头的制作方法 X技术网

2021年5月25日  一种卧式电镀硬铬设备的专用旋转头的制作方法 文档序号: 发布日期:2021-05-25 12:48 来源:国知局 导航: X技术 > 最新专利 > 电解或电泳工艺的制造及其应用技术 本实用新型涉及电镀硬铬设备技术领域,具体是指一种卧式电镀硬铬设备的专用旋转头。 背景技术: 随着生产环境要求、工人健康保护要求和生产产品质量要求的不断

铬盐清洁生产工艺研究进展_百度文库

三、以铬铁矿为主要原料的铬盐清洁生产工艺研究进展. 3.1有钙焙烧工艺生产铬盐. 有钙焙烧工艺生产铬盐在改变填料以及研发生产技术的基础上降低了铬渣的排放量,但是仍然无法应用更高效率的生产设备,只能通过人力进行铬渣的处理,不仅会浪费人力资源

掩模板的制作过程 百度文库

玻璃的表面覆盖(铬) 下一步是在玻璃圆片上覆盖一层材料最终形成图形。 这些材料包括乳剂、铬和氧化铁。 乳胶不在VLSI中应用,因为不容易控制线条宽,而且它经不住使用和清洗。 铬是最广泛应用的材料,它以溅射或蒸发的方式淀积到圆片上。 尽管溅射铬比蒸发铬的反射性强(不希望有的特性),但用抗反射膜可以弥补但用抗反射膜可以弥补但用抗反射

掩膜光刻机原理及掩膜版制作工艺 知乎

2022年10月2日  光刻机工作原理: 光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,不同光刻机的成像比例不同,有5:1,

MEMS器件中多层金属薄膜溅射工艺研究

2018年4月17日  MEMS器件中常用的金属材料为金、铬、铝等。 铬/金膜主要用于二氧化硅湿法腐蚀的掩膜层,要求膜层和圆片的粘附性高、均匀性好。 铝/铬膜主要用于制作MEMS器件中敏感结构中的功能层,要求薄膜应力小,对膜层的粘附性、均匀性、可焊性要求高。

一种制备铬版掩膜版的方法与流程 X技术网

2017年5月27日  现有铬版掩膜版制备的主要工艺过程为:在石英或玻璃等透明基材上利用真空加热蒸发或者溅射淀积形成铬薄膜层,在其上涂覆光致抗蚀剂,利用激光或者电子束根据设计的版图对光致抗蚀剂进行曝光,显影形成抗蚀剂图案,然后利用湿法或者干法刻蚀工艺刻蚀去除未被抗蚀剂覆盖的铬膜,最终剥离抗蚀剂,得到带有图案的铬版掩膜版。 现有技术

6025光罩背后的故事 凤凰网科技

2023年5月29日  因此光罩清洗设备市场多年来也都仅有几家公司把持,并没有晶圆清洗设备 先在铬板光罩上制作图形,然后将其压在预先涂布了光刻胶的 晶圆上

光罩版制作工艺简介 豆丁网

2019年3月9日  光罩版制作工艺简介 系统标签: 光罩 制作 简介 膜制作 工艺 玻璃 光罩版制作工艺简介铬版制作简介掩膜版的分类铬版原材结构掩膜制作流程品质特性与检验铬版存放要求铬版:(精度高、耐用、价格高)干版(精度适中、耐用性适中、价格适中)(精度低、不耐用、价格低)凸版(APR)版(主要用来转移PI液等)2、铬版原材结

不锈钢与不锈铁|铁素体|马氏体|奥氏体|耐蚀性_网易订阅

2023年5月26日  由于含碳量相应地降低,含铬量有相应地提高,钢从室温加热到高温(960~1100℃),其显微组织始终是单相铁素体组织。其耐蚀性、塑性、焊接性均优于马氏体不锈钢。对于高铬铁素体不锈钢,其抗氧化性介质腐蚀的能力较强,随含铬量增加,耐蚀性

一种卧式电镀硬铬设备的专用旋转头的制作方法 X技术网

2021年5月25日  一种卧式电镀硬铬设备的专用旋转头的制作方法 文档序号: 发布日期:2021-05-25 12:48 来源:国知局 导航: X技术 > 最新专利 > 电解或电泳工艺的制造及其应用技术 本实用新型涉及电镀硬铬设备技术领域,具体是指一种卧式电镀硬铬设备的专用旋转头。 背景技术: 随着生产环境要求、工人健康保护要求和生产产品质量要求的不断

光罩_百度百科

2022年9月13日  VDOMDHTMLtml> 光罩(英文:Reticle, Mask),在制作IC的过程中,利用光蚀刻技术,在半导体上形成图型,为将图型复制於晶圆上,必须透过光罩作用的原理,类似于冲洗照片时,利用底片将影像复制至相片上。 光罩_百度百科 百度首页 新闻贴吧知道网盘图片视频地图文库百科 进入词条全站搜索帮助 清除历史记录关闭 近期有不法分子

铬盐清洁生产工艺研究进展_百度文库

以铬盐为原料的产品品种有重铬酸钠以及铬酸酐,同时铬盐液能够制作颜料。 铬盐的应用范围非常广泛,不仅在电镀、印染、燃料中具有应用价值,还能够在木材防腐、金属抛光以及医药等领域进行应用。 比如在电镀中的应用,铬盐的铬离子溶液在电流下可以在物体表面形成铬镀层,并且在空气中能形成比较稳定且具有防腐蚀作用的钝化膜。 铬镀层还具备装饰

化工设备图的画法.ppt 豆丁网

2012年9月2日  6、化工设备图中的简化画法 (1)单线示意画法 设备上某些结构已有零部 件图,或另外用剖视、断面、局部放大图等方法已 表示清楚时,设备图上允许用单线(粗实线)表示。. 如下图中用指引线说明的零部件,均采用单线示意 画法,而其他零部件仍按装配

掩膜版(mask)的制造.pdf-原创力文档

2017年9月22日  掩膜版制作流程 铬版存放要求 铬版为硬掩膜版,为防止其变形,需要竖直存放。 为了保证掩膜版表面的洁 净度,一般要保存在 1000 级以上的无尘室内,温度:20~26℃,湿度需维持在 40-60%RH 以内,静电电压控制在 500 伏以内。 因为铬版的基材是玻璃,如果需要对铬版长期保存,则需要保持在干燥的环 境里,以防止玻璃出现发霉

MEMS器件中多层金属薄膜溅射工艺研究

2018年4月17日  MEMS器件中常用的金属材料为金、铬、铝等。 铬/金膜主要用于二氧化硅湿法腐蚀的掩膜层,要求膜层和圆片的粘附性高、均匀性好。 铝/铬膜主要用于制作MEMS器件中敏感结构中的功能层,要求薄膜应力小,对膜层的粘附性、均匀性、可焊性要求高。

6025光罩背后的故事 凤凰网科技

2023年5月29日  众所周知,光罩中分为透光区与不透光区,光线透过透光区后与晶圆表面的光刻胶作用,使光刻胶发生化学反应产生交联或解交联,而遮光的材料便是铬。 铬伴随着光罩的发展走过将近半个世纪,也逐渐迎来了极限。 由于铬本身的透光率限制和铬遮光层的厚度所引起的光罩3D效应严重限制了图形的微缩,传统的铬板光罩已经无法用于更细微的

不锈钢的世今生

2017年12月31日  不锈钢的起源. 不锈钢的发明和使用,要追溯到第一次世界大战时期。. 英国科学家亨利布雷尔利受英国政府军部兵工厂委托,研究武器的改进工作。. 那时,士兵用的步枪枪膛极易磨损,布雷尔利想发明一种

光罩版制作工艺简介 豆丁网

2019年3月9日  光罩版制作工艺简介 系统标签: 光罩 制作 简介 膜制作 工艺 玻璃 光罩版制作工艺简介铬版制作简介掩膜版的分类铬版原材结构掩膜制作流程品质特性与检验铬版存放要求铬版:(精度高、耐用、价格高)干版(精度适中、耐用性适中、价格适中)(精度低、不耐用、价格低)凸版(APR)版(主要用来转移PI液等)2、铬版原材结

不锈钢与不锈铁|铁素体|马氏体|奥氏体|耐蚀性_网易订阅

2023年5月26日  由于含碳量相应地降低,含铬量有相应地提高,钢从室温加热到高温(960~1100℃),其显微组织始终是单相铁素体组织。其耐蚀性、塑性、焊接性均优于马氏体不锈钢。对于高铬铁素体不锈钢,其抗氧化性介质腐蚀的能力较强,随含铬量增加,耐蚀性